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中锗科技有限公司年产100万片半导体晶圆生产线技改项目 环境影响评价第二次公示
发布时间:2019-12-18 08:19 浏览量:162

中锗科技有限公司年产100万片半导体晶圆生产线技改项目

环境影响评价第二次公示

(一)项目概况

项目名称:中锗科技有限公司年产100万片半导体晶圆生产线技改项目

建设地点:南京市溧水经济技术开发区中兴东路9号,中锗科技有限公司现有厂区内;

建设内容:项目拟购置内圆切片机、滚圆机、研磨台、抛光清洗台、单面抛光机、双面研磨机、双面抛光机、外圆磨床、全自动超声清洗机等设备共计330台(套),新增建筑面积10000平方米,对太阳能锗衬底晶圆生产线进行技术改造,同时新建磷化铟和砷化镓生产线,项目建成后可形成年产太阳能锗衬底晶圆60万片、磷化铟晶圆20万片、砷化镓晶圆20万片的生产能力。

(二)项目对环境可能造成影响的概述及预防或减轻不良环境影响的措施

建设项目施工期的影响主要来自施工固废、施工噪声等。建设项目运行期的影响:废水主要为含砷废水、酸碱废水、有机废水、循环冷却水、纯水制备废水和生活废水;废气主要为酸性废气、碱性废气和有机废气;固废主要是一般工业固废、废油泥、废乙醇、废显影液、废抛光液等危废、生活垃圾等;项目噪声主要来自单晶生长设备、内圆切片机、激光划片机、双面研磨机、抛光机等设备。

废水处理措施:本项目废水包括生产废水和生活污水。生产废水包括含砷废水、酸碱废水、有机废水、循环冷却水、纯水制备废水等,其中含砷废水经含砷废水处理站处理后回用不外排,其余生产废水经厂区现有污水处理站处理后与经化粪池处理后的生活污水一并接管溧水秦源污水处理厂集中处理后排放至一干河。废水处理措施总体可行。

废气处理措施:本项目产生的废气主要有酸性废气、碱性废气和有机废气,酸碱废气经二级碱喷淋装置处理后经15m高排气筒排放;有机废气经RTO+沸石转轮装置处理后经15m高排气筒排放。大气环境影响预测结果表明,在废气处理措施装置正常运行的情况下,排放的大气污染物对周围地区空气质量影响很小,不会造成区域空气环境质量下降和环境功能的改变。

噪声处理措施:本项目主要噪声源有单晶生长设备、内圆切片机、激光划片机、双面研磨机、抛光机等设备。本项目在设备采购阶段即选用功率小,噪声低的设备,从而从声源上降低设备本身的噪声;将噪声较大的单晶生长设备、内圆切片机等设备置于室内以防止噪声的扩散与传播等。通过采取以上措施,本工程的厂界噪声均可满足排放标准。

固废处理措施:本项目产生的危险固体废物委托有资质的单位进行处理,可确保危险固废的无害化处理。一般固废和生活垃圾由环卫统一处理。本项目不会产生固体废物的二次污染环境问题。

综上可知,本项目对建设期和运行期所排放的污染物均采取了有效的污染控制措施,可做到污染物达标排放。

(三)环境影响评价结论

建设项目符合产业政策,建设项目拟采取有效的污染控制措施,建成后三废可以实现达标排放,可以满足总量控制要求,项目实施后对周围环境影响不大。在采取以上环保措施的前提下,从环境保护的角度看,本项目的建设是可行的。

(四)征求意见的公众范围

本次征求公众意见的范围是建设项目所在地周围的、关注本项目建设的公众,征求对本工程环境保护方面的意见,非环境保护方面的内容不在征求范围。

(五)公众提出意见的方式和途径

公众可填写建设项目公众意见表(见网络链接),通过邮寄信函(以邮戳日期为准)、传真、电子邮件将填写的公众意见表提交建设单位或环评单位,并请注明发表日期、真实姓名和联系方式。

1)建设单位联系方式

单位名称:中锗科技有限公司

电话:025-56209510

联系人:王飞

联系地址:南京市溧水区经济开发区中兴东路9

2)编制单位联系方式

环评单位名称:江苏润环环境科技有限公司

联系人:杨女士

Emaillbyangjian@163.com

(六)公众提出意见的起止时间

自公示之日起10个工作日。

征求意见稿及公众意见表详见附件。

中锗半导体项目环境影响评价公众意见表(2).ra

【征求意见稿】中锗科技有限公司年产100万片半导体晶圆生产线技改项目报告书(2)(1).rar


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