几何参数 | ||
| 参数 | 尺寸范围 | 公差 |
| 直径 单晶最大直径 多晶最大直径 | ≤105 ＞105 Mono- ≤350 Poly- ≤400 | ±0.02 ±0.03 |
| 厚度 | ±0.02-±0.05 | |
| 平整度 | ±0.02 | |
| 平行度 | ＜φ100 ＞φ100 ＞φ150 | ±0.02 ±0.04 ±0.05 |
| 边缘厚度变化（差） | 标准 0.05 特殊 ＜0.03 | |
| 垂直度 | ≤φ200 | ≤0.03 |
| 圆度 | ≤φ105 ＞φ105 | ≤0.01 ≤0.03 |
| 曲率半径 | 标准 △Sag＜0.02 特殊 △Sag＜0.01 | |
| 中心厚度 | 标准 ±0.05 特殊 ±0.02 | |
| 边精加工、倒角 | 0.2-1.5 | |
| 表面精加工 | 标准 Ra 1.27 特殊 Ra 0.5 | |
| 崩边 | 倒角 不倒角 | ＜0.3 ≤0.5 |
| 中心偏差 | ≤0.05 | |
