电子级三氯氢硅
电子级三氯氢硅：实现在国内半导体领域的批量销售。
项目
| 指标 |
外观
| 无色透明液体 |
纯度
| ≥99.99% |
| 杂质含量ng/g(ppb)≤ | 硼+铝（B+AI） | ≤0.10 |
| 磷+砷+锑（P+As+Sb） | ≤0.20 |
| 铁（Fe） | ≤3.00 |
| 镍（Ni） | ≤0.80 |
| 铬（Cr） | ≤1.00 |
| 钒（V） | ≤0.01 |
| 锰（Mn） | ≤0.20 |
| 钼mu（Co） | ≤0.02 |
| 铜（Cu） | ≤0.05 |
| 钴（Mo） | ≤1.00 |
| SiH2Cl2含量 | ≤0.002% |
| SiCl4含量 | ≤0.004% |
| SiH3Cl含量 | ≤0.004% |
| 总碳含量 | ≤1ppm |
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