| Project | Index | |
| Surface | Colourless Transparent Liquid | |
| Purity | ≥99.99% | |
| 杂志含量ng/g(ppb)≤ | 硼+铝（B+AI） | ≤0.10 |
| 磷+砷+锑（P+As+Sb） | ≤0.20 | |
| 铁（Fe） | ≤3.00 | |
| 镍（Ni） | ≤0.80 | |
| 铬（Cr） | ≤1.00 | |
| 钒（V） | ≤0.01 | |
| 锰（Mn） | ≤0.20 | |
| 钼mu（Co） | ≤0.02 | |
| 铜（Cu） | ≤0.05 | |
| 钴（Mo） | ≤1.00 | |
| SiH2Cl2 | ≤0.002% | |
| SiCl4 | ≤0.004% | |
| SiH3Cl | ≤0.004% | |
| Carbon Content | ≤1ppm | |
